Лазерное текстурирование кремния для создания солнечных элементов – тема научной статьи по нанотехно

характерные латеральные размеры формируемых лазерно-индуцированных структур минимум на два порядка. Это позволило при анализе структур полностью исключить влияние неоднородности распределения интенсивности излучения на параметры структуры.